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電子特氣
電子特氣作為晶圓制造過程中的第二大耗材，占比接近14%，僅次于硅片，廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)。我司電子特氣產(chǎn)品主要包含有三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，采用液態(tài)與瓶裝氣體生產(chǎn)模式。
電子特氣熔點(diǎn)沸點(diǎn)蒸汽壓產(chǎn)品等級
NF3-50.8℃-63.8℃21.5atm4.5N、5N
SF6-208.5℃-129℃>1atm4.6N
BCl3-107℃12.5 °C29.72 atm5N